[成果] フェムト秒レーザーで操られた電子の集団運動を観測することに成功

東京農工大学 大学院工学研究院の宮地 悟代 准教授は、同大学大学院生(当時)の萩谷 将人 氏と、宮崎 健創 京都大学名誉教授とともに、電子デバイスに広く用いられている半導体材料である「シリコン」表面に、高強度のフェムト秒レーザーパルスを照射することによって、光と結合した電子の疎密振動波 ~ 表面プラズモンポラリトン~ が発生することを、世界で初めて観測することに成功しました。この現象をうまく利用すると、レーザー光を照射するだけでナノメートルサイズの微細な溝や穴を直接削り出すことができるため、薬剤等が不要な新しい微細加工技術の実現が期待されます。詳しくは以下のプレスリリースサイトもしくは論文掲載サイトをご覧ください。



東京農工大学 宮地研究室

工学部 物理システム工学科 Tokyo University of Agriculture & Technology, Miyaji Lab. Faculty of Engineering, Department of Applied Physics