国立大学法人 東京農工大学 大学院工学研究院 先端物理工学部門の宮地 悟代 准教授と国立研究開発法人 産業技術総合研究所 電子光基礎技術研究部門 先進レーザープロセスグループの奈良崎 愛子 研究グループ長の研究チームは、同大学院博士前期課程2年生兼同研究所リサーチアシスタントの長井 大輔 氏、同研究所の高田 英行 主任研究員とともに、フェムト秒レーザー照射中のガラス表面の光学顕微画像から、周期が約200 nmのナノ構造体が形成されていることを判別できる技術を開発しました。この技術は、モスアイ構造が反射率を抑え、透過率を増加させることを利用し、レーザー照射領域の反射率が減少、透過率が増加したときに、ナノ構造が形成されたことを検出します。この技術により、加工後に表面観察を行わずともナノ構造形成が判別できるため、ナノ構造形成の品質保証だけでなく、観測結果に基づいた動的レーザー制御により、ナノ構造の安定形成も行うことができると期待されます。
本研究成果は、第83回応用物理学会秋季学術講演会にて口頭発表されます。
論文名：フェムト秒レーザーによるガラス表面ナノ周期構造形成の無反射特性を利用したその場観察
講演番号：22p-C301-15
発表日：2022年9月22日
著者名：長井 大輔、高田 英行、奈良崎 愛子、宮地 悟代
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