2025年12月23日に、第103回レーザ加工学会講演会（大阪大学コンベンションセンター）にてD2飯田悠斗が招待講演を行います。
「23B3 次世代レーザ微細加工」セッション
15:10~15:40 飯田悠斗、立田実花、宮地悟代* フェムト秒レーザーによるSiへのプラズモニック近接場の誘起と微細加⼯への応用
概要：フェムト秒（fs）レーザーパルスを固体表面に集光照射すると，過渡的に金属化した表面に表面プラズモン・ポラリトン（SPP）を励起できる．本発表では，Si回折格子に励起されるSPPの基礎過程とプラズモニック近接場による表面のナノアブレーションについて報告する．実験では，Si表面に高密度電子発生用のfsパルスを照射後，時間遅延を与えてSPP励起・観測用のfsパルスを照射した．入射角を変えて表面反射率を測定したところ，24°近傍で反射率は大きく低下し，変調深さは時間遅延（-1~10 ps）の増加とともに増大した．一方，表面形状を観察すると，変調深さが最大となるときに大きくアブレーションした．得られた実験結果と計算結果は，高強度fsパルス照射により過渡的に金属化したSi表面に誘起されるプラズモニック近接場が，表面を効率よくアブレーションすることを示している．
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