京都市勧業館みやこめっせで開催されるレーザー学会学術講演会第38回年次大会にて、二階堂誓哉(M2)が研究成果を口頭発表しました。タイトルは、「低フルーエンス照射におけるフェムト秒レーザー誘起ナノ構造生成」（講演番号24aVIII-3）です。講演日時は、2018年1月24日午前9:00~9:15です。

【発表概要】フェムト秒レーザーによって固体表面に形成されるナノ構造の周期は，フルーエンスによって変化することがよく知られていますが，その物理的要因は理解されていません。異なるパルス幅のレーザーをダイヤモンド状炭素（DLC）薄膜表面に照射し，ナノ構造の生成過程を調べました。その結果、7fsレーザーを用いると、明瞭なナノ構造が生成されたと同時に、フルーエンスの増加に伴って周期間隔が短くなることを観測しました。この結果により、レーザー照射で生成した改質層の厚みが、ナノ構造生成過程に大きな影響を与えることを示しました。

【研究成果の意義】レーザーフルーエンスが数mJ/cm^2の場合，ピークフルーエンス（もしくはピークパワー密度）増加に伴って，ナノ構造の周期が短くなることを初めて観測しました。本成果は、改質層の厚みがナノ構造の周期を決める1つの要因であることを初めて示すものであり，これを積極的に制御することによってナノ加工技術への応用展開が期待できます。

2018.01